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机电一体化系统中的导向装置一般是指导轨，导轨由运动件和承导件组成。各种机械运行时，由导轨副保证执行件的正确运动轨迹。并且导轨副也影响着执行件的运动特性。导轨作为导向装置，应当具有下列性能：（1）导向精度 主要指导轨运动轨迹的度。影响导向精度的主要因素有：导轨的几何精度和接触精度，导轨的结构形式，导轨及其支承件的刚度和热变形，静（动）压导轨副之间的油膜厚度及其刚度等。

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精密则是当实验数据很精准时，会要求实验有高度的再现性，表示实验数据是可信的，也就是实验数据需要具有高精密度（多次量度或计算的结果的一致程度）。一个结果必须要同时符合准确与精密这两个条件，才可算是精准。